RMS系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)設(shè)備Recipe的自動(dòng)上傳、下載、比對(duì)、審批、Golden/Unique、歷史版本管理等功能；RMS系統(tǒng)可以降低人工操作對(duì)Recipe參數(shù)的出錯(cuò)率，提高設(shè)備生產(chǎn)良率及人工作業(yè)效率。
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